[发明专利]陶瓷件的孔清洁装置有效
| 申请号： | 202110181928.4 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112974429B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王增辉;符雅丽;郑友山;王宏伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/045 | 分类号： | B08B9/045;B08B9/047 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷件的孔清洁装置，其包括底座、固定组件、移动组件和清洁组件，其中，固定组件设置在底座上，用于固定陶瓷件；移动组件与清洁组件连接，且与底座可移动地连接，以能够带动清洁组件移入或移出固定在固定组件上的陶瓷件的待清洁孔；清洁组件包括绝缘件和设置在绝缘件内部的导电件，其中，绝缘件的硬度低于陶瓷件的硬度，且绝缘件的外周面能够与待清洁孔的内周面相接触；导电件用于与交流电源电连接，以在绝缘件的外表面感应产生能够吸附待清洁孔中的颗粒物的感应电压。本发明实施例提供的陶瓷件的孔清洁装置，可以有效减少陶瓷件的待清洁孔中的颗粒污染，尤其可以应用于具有细长孔的陶瓷件的清洁，从而可以满足工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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