[发明专利]阵列式光电探测器测试系统有效
| 申请号： | 202110181100.9 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112985487B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 张观欣;赵向凯;张晓洁;席晓理;陈潞;李冬梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阵列式光电探测器测试系统，包括探测器安装阵列、光照阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源和上位机软件，其中，探测器安装阵列，包括M×N组探测器测试座，用于将多个光电探测器以阵列的方式进行安装；光照阵列，包括M×N组准直镜头，用于为光电探测器提供光照；上位机软件，对探测器安装阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源等进行控制，以实现自动化测试。本发明可以大幅提高光电探测器测试速度，实现自动化测试，特别是在高低温箱内或其他密闭环境下测试时，无法打开高低温箱进行单个光电探测器的更换时，通过本发明进行电子切换进行轮循测试可提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 光电 探测器 测试 系统 | ||
【主权项】：
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