[发明专利]一种表面洁净单壁碳纳米管、其制备方法、系统及应用有效
申请号: | 202110166202.3 | 申请日: | 2021-02-05 |
公开(公告)号: | CN112897511B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 李清文;姚建;邱松;金赫华;李亚辉;温海键;曹雷涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | C01B32/168 | 分类号: | C01B32/168;C01B32/159 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种表面洁净单壁碳纳米管、其制备方法、系统及应用。所述制备方法包括:以包含有机分散剂的单壁碳纳米管分散体系制备单壁碳纳米管薄膜,在真空环境或保护性气氛中对所述单壁碳纳米管薄膜进行快速升降温退火处理。本发明利用有机分散剂与单壁碳纳米管(如s‑SWNTs)热膨胀系数的差异,在短时间的高低温差变化中使覆盖在s‑SWNTs表面的有机分散剂发生变形且从s‑SWNTs表面脱落,能够高效消除表层及里层有机分散剂带来的影响,改善s‑SWNTs管间及s‑SWNTs与金属电极的接触,同时还可避免给s‑SWNTs引入大量二次缺陷,保护s‑SWNTs的本征性能,最终使所获单壁碳纳米管薄膜呈现高度均匀、不含杂质等特点,适于制备高性能半导体器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 洁净 单壁碳 纳米 制备 方法 系统 应用 | ||
【主权项】:
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