[发明专利]非圆柱面面形的可变一维球差干涉测量系统及应用方法有效
| 申请号： | 202110161248.6 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113008159B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 薛帅;石峰;陈善勇;宋辞;邓明杰 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非圆柱面面形的可变一维球差干涉测量系统及应用方法，包括波面干涉仪、圆柱面CGH、柱面单透镜和非圆柱面，波面干涉仪通过平面镜头发出的平面波面依次经过圆柱面CGH、柱面单透镜后落到非圆柱面上，柱面单透镜安装在沿光轴方向布置的轨道上，通过改变柱面单透镜到圆柱面CGH的距离提供变化的用于补偿非圆柱面的一维球差，以及通过改变非圆柱面与柱面单透镜的距离可以适应不同曲率半径的非圆柱面的检测。本发明能够在不更换补偿器的情况下对大范围参数变化的非圆柱面面形进行干涉测量，可实现大范围参数变化的非圆柱面的检测，提高检测效率、降低检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 圆柱 面面 可变 一维球差 干涉 测量 系统 应用 方法 | ||
【主权项】：
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