[发明专利]用于光学相控阵的高效率和大口径光栅天线及其制备方法在审
| 申请号： | 202110155772.2 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112946814A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 徐科;李东亮 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 覃迎峰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于光学相控阵的高效率和大口径光栅天线及其制备方法，所述用于光学相控阵的高效率和大口径光栅天线沿z轴方向自下而上包括：衬底层、介质层和波导层，所述波导层包括用于将光能量向上辐射到自由空间的二维纳米孔状光栅结构。采用本发明的技术方案，波导层包括二维纳米孔状光栅结构，即在水平和垂直方向上均有纳米孔，可以用于向上耦合光输出，二维的纳米孔阵列光栅结构相比于条状光栅结构可以有效地降低光栅的衍射强度，从而增长了光栅长度，减小了光栅天线的远场发散角，提高了光学相控阵的分辨率，结构比较简单，容易制造。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 相控阵 高效率 口径 光栅 天线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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