[发明专利]一种CrAlTiSiCN纳米复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202110154010.0 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112962059A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张而耕;吴昌;陈强;黄彪;周琼 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 贺姿;胡晶 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种CrAlTiSiCN纳米复合涂层，包括依次沉积于基体上的Cr打底层、CrN过渡层、CrAlTiSiN过渡层及CrAlTiSiCN膜层，本发明提供的CrAlTiSiCN纳米复合涂层通过Cr‑CrN‑CrAlTiSiN‑CrAlTiSiCN阶梯状的方式将CrAlTiSiCN膜层牢牢地结合在刀具基体的表面，各层之间的结合强度大大增加，有效防止CrAlTiSiCN膜层从刀具基体表面脱落，涂层厚度和成分也更加均匀，且纳米复合涂层的硬度高，其纳米硬度可达39～45GPa，高温稳定性强，延长涂层工件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 craltisicn 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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