[发明专利]一种单晶硅磨片机在审
申请号: | 202110078954.4 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN112917278A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 董文文 | 申请(专利权)人: | 董文文 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B41/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅磨片机,其结构包括机架、支臂、磨片盘、圈盘、硅片收集盒、锥脚,机架上设置有磨片盘,磨片盘通过锥脚与磨片盘间接配合,磨片盘上与支臂过渡配合,硅片收集盒安装在机架上,在助力装置内设置有定向件和顶出结构,利用定向件和顶出结构在卷套上相配合,当转体朝硅片初步着力点的方向而倾斜时,其顶部的加速器将会与平面框相接触,使其向内收缩,促进其内部的定向件和顶出结构能够受压力结合并相互抵消支撑,能够在变形后稳定复位,对转体的倾斜起到充分的缓冲,实现对设备稳定性的调控。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 磨片机 | ||
【主权项】:
暂无信息
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