[发明专利]球阀圆头表面TiVZrCrAl高熵合金涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110075590.4 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112921267B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 熊永利;何林芯;刘春海;赵莎;熊心德 | 申请（专利权）人： | 自贡市量子金属制造有限公司;四川轻化工大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 李蜜;钟玉巧 |
| 地址： | 643104 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种球阀圆头表面TiVZrCrAl高熵合金涂层及其制备方法，包括以下步骤：(1)预处理：对球阀圆头依次进行抛光、抛丸除锈、清洗、干燥处理；(2)偏压反溅射清洗：将步骤(1)干燥后的球阀圆头采用偏压反溅射清洗；(3)靶材预溅射：对TiVZrCrAl高熵合金靶材进行预溅射；(4)沉积TiVZrCrAl高熵合金涂层：在氩气气氛下，于相应溅射条件下对TiVZrCrAl高熵合金靶材进行溅射，每隔20～60min中断沉积5～10min；(5)去应力和矫正变形处理：球阀圆头保持沉积时的加热温度，静置30min以上，随炉自然冷却后取出即可。该制备方法所制备的高熵合金涂层，具有优异的高硬、耐蚀性，进而改善球阀的耐磨性能。 | ||
| 搜索关键词： | 球阀 表面 tivzrcral 合金 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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