[发明专利]一种低摩擦系数高耐磨的CrAlN/CrAlSiN/TaC复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202110065568.1 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114807834A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 周志明;吴一若;王永锋;涂坚;黄灿;王军军;张琰斌;余春堂;方勤;胡瀚杰;陈全龙;孙青云 | 申请（专利权）人： | 重庆理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C28/04;C23C8/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400054 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开一种低摩擦系数高耐磨的CrAlN/CrAlSiN/TaC复合涂层及其制备方法，制备包括如下步骤：1)首先通过等离子氮化技术提高TC4钛合金表面硬度，2)沉积复合涂层前对TC4钛合金表面进行离子清洗，3)沉积CrAlN过渡层10～30min，4)沉积CrAlSiN中间层60～120min，5)最后沉积TaC涂层30～60min。通过控制沉积时间和基体偏压，在等离子氮化处理后的TC4钛合金表面沉积高硬度和耐磨性能优良的复合涂层，显著提高了TC4钛合金表面硬度和耐磨性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摩擦系数 耐磨 craln cralsin tac 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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