[发明专利]一种盲孔填充电镀铜溶液及其应用有效
| 申请号： | 202110055184.1 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112899737B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 宗高亮;谢慈育;冉光武;李得志 | 申请（专利权）人： | 珠海市板明科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D17/10;H05K3/42 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 李莹 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种盲孔填充电镀铜溶液，所述电镀铜溶液由以下浓度的组分组成：硫酸40‑120g/L，五水合硫酸铜120‑240g/L，氯离子40‑80ppm，加速剂0.002‑0.02g/L，抑制剂0.1‑0.3g/L，整平剂0.01‑0.1g/L，稳定剂0.002‑0.02g/L，所述稳定剂为由2,2‑联吡啶与N,N,N',N'‑四(2‑羟丙基)乙二胺按照质量比1:(1‑4)的比例复配构成。通过在电镀铜溶液中添加由2,2‑联吡啶与N,N,N',N'‑四(2‑羟丙基)乙二胺组成的稳定剂，控制可溶性阳极电镀时溶液中的副反应，保证氯离子、加速剂、抑制剂和整平剂等组分效果的稳定性，实现盲孔的稳定填充。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 盲孔填 充电 镀铜 溶液 及其 应用 | ||
【主权项】：
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