[发明专利]一种垂直曝光及检测装置有效
申请号: | 202110050549.1 | 申请日: | 2021-01-14 |
公开(公告)号: | CN112882350B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 倪沁心;陈建明;陈铁玉;梁添贵;杨大昆 | 申请(专利权)人: | 广东华恒智能科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 黄焯辉 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及曝光装置技术领域,尤其是指一种垂直曝光及检测装置,其包括机架以及均装设在机架上的曝光装置、菲林检测装置和用于将物料的传输方向垂直于所述机架进行输送的垂直输送料机构,所述垂直输送料机构输送的物料经过所述曝光装置进行曝光;所述菲林检测装置包括拉菲林机构以及菲林检测机构;所述曝光装置垂直设置于所述机架上;所述机架上装设有挡板,所述曝光装置和所述垂直输送料机构均位于所述挡板的一侧,所述菲林检测装置位于所述挡板的另一侧。本发明结构新颖,减少粘附在物料上的灰尘,并且可以减少传输时的磨损;可以有效提高检测效率,能够及时检测和处理,缩短检测时间,提高工作效率和生产效率;工作稳定性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 曝光 检测 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东华恒智能科技有限公司,未经广东华恒智能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110050549.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。