[发明专利]一种垂直曝光及检测装置有效

专利信息
申请号: 202110050549.1 申请日: 2021-01-14
公开(公告)号: CN112882350B 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 倪沁心;陈建明;陈铁玉;梁添贵;杨大昆 申请(专利权)人: 广东华恒智能科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 代理人: 黄焯辉
地址: 523000 广东省东莞市南城街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及曝光装置技术领域,尤其是指一种垂直曝光及检测装置,其包括机架以及均装设在机架上的曝光装置、菲林检测装置和用于将物料的传输方向垂直于所述机架进行输送的垂直输送料机构,所述垂直输送料机构输送的物料经过所述曝光装置进行曝光;所述菲林检测装置包括拉菲林机构以及菲林检测机构;所述曝光装置垂直设置于所述机架上;所述机架上装设有挡板,所述曝光装置和所述垂直输送料机构均位于所述挡板的一侧,所述菲林检测装置位于所述挡板的另一侧。本发明结构新颖,减少粘附在物料上的灰尘,并且可以减少传输时的磨损;可以有效提高检测效率,能够及时检测和处理,缩短检测时间,提高工作效率和生产效率;工作稳定性高。
搜索关键词: 一种 垂直 曝光 检测 装置
【主权项】:
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