[发明专利]一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110020846.1 申请日: 2021-01-08
公开(公告)号: CN112665773A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 王文华;吴伟娜;师文庆;熊正烨;付东洋;田秀云;谢玉萍;罗元政;赖学辉;费贤翔 申请(专利权)人: 广东海洋大学
主分类号: G01L11/02 分类号: G01L11/02;C03C23/00;C03B33/08;C03B25/00;B24B1/00;A61B5/03
代理公司: 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 代理人: 王颖
地址: 524088 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种基于高纯石英压力敏感元的光纤传感器及其制备方法,包括光纤、石英套管、高纯石英压力敏感元;石英套管内设有通孔,所述通孔内插入所述光纤;石英压力敏感元与石英套管连接。本发明能够适用于除氢氟酸和150℃以上的热磷酸以外的耐腐蚀等恶劣环境,因生物组织对石英材料不排斥所以也适用于颅内压的监测等应用;并通过激光热熔的方式免胶固定,能够提高稳定、可靠性和适用范围;石英压力敏感元的厚度由光学冷加工工艺控制,无需化学腐蚀等工艺,提高光纤传感头的稳定性、可靠性和寿命;本发明制作过程简单、快捷,传感器安全可靠、稳定性好,结合传统的光学冷加工工艺能够实现极小厚度的石英压力敏感元热熔。
搜索关键词: 一种 基于 高纯 石英 压力 敏感 光纤 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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