[发明专利]一种激光加热微纳光子学器件模压加工装置及方法在审
| 申请号： | 202110016616.8 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112811795A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周见红;周姚;赵建行;曹英浩;王丽;孙艳军;孟颖;闫钰峰;景文博 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | C03B23/02 | 分类号： | C03B23/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 130000 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光加热微纳光子学器件模压加工装置及系统。该方法包括：利用镀膜工艺在透明衬底上镀待加工材料薄膜，形成带有待加工材料薄膜的透明衬底；将带有待加工材料薄膜的透明衬底置于透明基底上；将微纳结构模具置于待加工材料薄膜上；利用激光器发射的激光照射至待加工材料薄膜上加热，直至待加工材料薄膜软化；或者，利用激光器发射的激光照射至微纳结构模具的表面进行辅助加热直至待加工材料薄膜软化；对微纳结构模具施加压力，同时利用激光对软化后的待加工材料薄膜持续均匀照射，使得微纳结构模具的结构转印在软化后的待加工材料薄膜上。在模压加工过程中加热温度均匀、加工精度高、避免了待加工材料薄膜产生形变甚至缺陷等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加热 光子 器件 模压 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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