[发明专利]用激光加工金刚石材料制备的元器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110014240.7 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112828449A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 庞冬青;林百川;宋琦;柴路;胡明列 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/064;B23K26/362;B23K26/53;B23K26/70 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 张建中 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用激光加工金刚石材料制备元器件的方法，采用如下装置：激光器，用于控制激光器输出的光束快门，用于放置金刚石的工作台；在激光器激光头和工作台间设聚焦透镜；使激光器发射的激光经聚焦透镜照射在金刚石上；通过控制激光光斑与工作台的相对移动，使激光聚焦在金刚石表面或内部；通过调节激光器输出功率、激光输出的脉冲重复频率及激光斑相对工作台的三维移动速度，使激光辐射区域内金刚石材料转化为石墨相以及无定形碳相，及改变激光辐射区域内材料电导率及电磁波透过率。本发明还公开了采用上述的方法制备而成的元器件。本发明可以在金刚石表面和内部加工自由设计的电磁波调制器、电阻、电容等多种器件。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 金刚石 材料 制备 元器件 及其 方法 | ||
【主权项】：
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