[发明专利]一种光纤侧面均匀镀膜掩膜装置及其镀膜方法在审
| 申请号： | 202110008039.8 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN112853291A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 党俊坡;江秀娟 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 许庆胜 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种光纤侧面均匀镀膜掩膜装置及其镀膜方法，包括：机架；左侧板与右侧板之间设置有滑动轴；滑动轴上滑动连接有滑动平台；左侧板上固定有第一驱动电机；滑动平台上固定有第二驱动电机；第一驱动电机和第二驱动电机分别驱动连接有一个用于固定光纤的夹持组件；夹持组件上设置有导向管；第一驱动电机与第二驱动电机之间间隔设置有第一掩膜块和第二掩膜块；第一掩膜块和第二掩膜块上均设置有掩膜穿孔。本发明结构简单、体积小，可以对光纤圆柱侧面均匀地镀单层或多层膜以及不同分层结构的膜层，并且具有单独封闭结构，即使在镀膜过程中出现故障也不会影响镀膜腔室内的真空环境，进而保证镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 侧面 均匀 镀膜 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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