[发明专利]无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线有效
申请号: | 202110004843.9 | 申请日: | 2021-01-04 |
公开(公告)号: | CN112786777B | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 秘立鹏;孙睿;刁凤新;史昌明;佟敏;党乐;王磊磊;陈忠源 | 申请(专利权)人: | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院;国网河南省电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司 |
主分类号: | H10N30/30 | 分类号: | H10N30/30;H10N30/85;H10N30/87;H10N30/06;H10N30/08;B82Y30/00 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 张庆骞 |
地址: | 010020 内蒙古自治区呼*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明属于无源自供能领域,提供了一种无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线。其中,无源自供能用压电纳米线的制备方法包括在基片上溅射ZnO纳米线生长的种子层;将ZnO纳米线生长溶液与种子层反应,在种子层上生长ZnO纳米线;反应结束后,清洗种子层及ZnO纳米线;采用等离子溅射工艺在ZnO纳米线的上层制备出压电层电极,最终得到无源自供能用压电纳米线。 | ||
搜索关键词: | 无源 自供 能用 压电 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
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