[发明专利]液剂涂布装置在审
| 申请号： | 202080101276.2 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN115803121A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 成见健太;伊奈弘昭;皆川正太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C5/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 液剂涂布装置具备：相对于基板能够上下移动并且能够在水平面方向上相对移动的涂布嘴、切换进行液剂向涂布嘴的供给的第一状态和停止液剂向涂布嘴的供给的第二状态的涂布阀及控制它们的控制装置。控制装置控制为涂布嘴从基板的上方向基板的预定位置下降，并且控制为在预定的供给开始定时将涂布阀切换为第一状态之后等待经过预定时间而将涂布阀切换为第二状态，并控制为在涂布嘴的前端到达下降端且涂布阀切换为第二状态的定时以后涂布嘴上升。供给开始定时由操作人员和/或控制装置任意地设定。 | ||
| 搜索关键词： | 液剂 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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