[发明专利]用于压力和惯性传感器设备的微机械构件在审
| 申请号： | 202080066834.6 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN114450248A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;J·赖因穆特;L·特伯杰 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L9/00;G01L19/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭付昌 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有衬底(10)、撑开的膜片(12)和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)，所述衬底具有衬底表面(10a)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p |
||
| 搜索关键词： | 用于 压力 惯性 传感器 设备 微机 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080066834.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
