[发明专利]扫描镜系统的衬底在审
| 申请号： | 202080057430.0 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN114270242A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | M·J·奈斯特罗姆;W·O·戴维斯;王锦程 | 申请（专利权）人： | 微软技术许可有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;姚杰 |
| 地址： | 美国华*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS扫描镜系统包括具有陶瓷主体的衬底。致动器框架被安装在该衬底的该陶瓷主体上。该致动器框架包括至少一个可移动构件。至少一个致动器操作地被连接到该至少一个可移动构件，使得该致动器被配置为移动该至少一个可移动构件。扫描镜组件被安装到至少一个可移动构件，使得该至少一个可移动构件的移动使该扫描镜组件移动。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 系统 衬底 | ||
【主权项】：
暂无信息
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