[发明专利]加工装置在审
| 申请号： | 202080056385.7 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN114206538A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 佐藤真路 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李哲;黄健 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 加工装置是通过将来自加工光源的加工光照射至物体来加工物体的加工装置，包括：合成光学系统，将来自加工光源的加工光的光路与来自测量光源的第一测量光的光路合成；照射光学系统，将经由合成光学系统的加工光及第一测量光照射至物体；位置变更装置，变更照射光学系统相对于物体的位置；拍摄装置，其位置与照射光学系统一起变更，拍摄物体；以及检测装置，经由照射光学系统及合成光学系统，来检测第二测量光，所述第二测量光通过经由照射光学系统照射至物体的第一测量光而自物体产生。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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