[发明专利]包含光学探针的电化学沉积系统在审
| 申请号： | 202080053306.7 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114174562A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 安德鲁·詹姆斯·普福;尚蒂纳特·小古艾迪;何治安;马尼什·兰詹 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/12 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电化学沉积系统包括：电化学沉积室，其包括用于电化学沉积的电解液；衬底保持器，其被配置成保持衬底并且包括与所述衬底电气连接的第一阴极；第一致动器，其被配置成调整所述衬底保持器在所述电化学沉积室中的竖直位置；阳极，其浸没在所述电解液中；第二阴极，其被配置成在所述第一阴极与所述阳极之间；第一光学探针，其被配置成，当所述衬底被浸没在所述电解液中时，在距离所述衬底的中心第一距离处测量所述衬底的第一反射率；以及控制器，其被配置成在所述电化学沉积的期间，基于所述衬底的所述第一反射率而选择性地调整施加至所述第一阴极的功率、施加至所述第二阴极的功率、施加至所述阳极的功率、以及所述衬底保持器的所述竖直位置中的至少一者。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 光学 探针 电化学 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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