[发明专利]扭转翼探针组件在审
申请号: | 202080047803.6 | 申请日: | 2020-05-04 |
公开(公告)号: | CN114026438A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 胡水清;马丁·瓦格纳;王伟杰;苏全民 | 申请(专利权)人: | 布鲁克纳米公司 |
主分类号: | G01Q60/38 | 分类号: | G01Q60/38;G01Q10/04 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋融冰 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于计量仪器的扭转探针包括通过扭杆耦合到支撑结构的悬臂。悬臂、支撑结构及扭杆的臂具有基本相同的厚度。 | ||
搜索关键词: | 扭转 探针 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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