[发明专利]物质检测系统和物质检测方法在审

专利信息
申请号: 202080041376.0 申请日: 2020-05-22
公开(公告)号: CN113924489A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 绪方健治;松冈庆太 申请(专利权)人: 爱沛股份有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 物质检测系统(1)包括物质传感器(2)和泵(3)。物质传感器(2)设置于第1空间(10),用于检测对象物质(M)。泵(3)用于将第2空间(20)的气体向第1空间(10)供给。在第1空间(10)和第2空间(20)中的至少一者存在对象物质(M)的情况下,第1空间(10)中的对象物质(M)的浓度和第2空间(20)中的对象物质(M)的浓度不同。泵(3)将存在于第2空间(20)的气体向第1空间(10)间歇地供给。
搜索关键词: 物质 检测 系统 方法
【主权项】:
暂无信息
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