[发明专利]用于扫描计量的计量目标有效
| 申请号： | 202080040950.0 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113939772B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | A·V·希尔;A·玛纳森;G·拉雷多;Y·弗莱;M·吉诺乌克;V·莱温斯基 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N21/956;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种计量系统可包含经耦合到扫描计量工具的控制器，所述扫描计量工具使沿着扫描方向运动的样本成像。所述控制器可从所述扫描计量工具接收所述样本上的计量目标的图像，其中所述计量目标包括：第一测量群组，其包含沿着正交于所述扫描方向的横向分布的单元；及第二测量群组，其沿着所述扫描方向与所述第一测量群组分离，所述第二测量群组包含沿着所述横向方向分布的单元，所述第二测量群组。所述控制器可进一步基于所述第一计量群组中的所述第一组单元中的至少一者来生成至少第一计量测量，及基于所述第二计量群组中的所述第一组单元中的至少一者来生成至少第二计量测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 计量 目标 | ||
【主权项】：
暂无信息
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