[发明专利]稀药液制造装置在审
| 申请号： | 202080020215.3 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113557078A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 杉田航;小川祐一 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | B01F1/00 | 分类号： | B01F1/00;B01F3/08;B01F5/00;B01F15/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 稀药液制造装置(1)具有从药液储槽供给药液(S)的柱塞泵以及药液供给管(3)。药液供给管(3)的末端为药液(S)的注入点(11)。该药液供给管(3)经由穿孔接头(13)插入到作为第一配管的超纯水流路(12)的径向的大致中央。而且，在比作为注入点(11)的穿孔接头(13)更靠下游侧设有作为电导率测量机构的电导率计(14)，其与前述控制机构(图中未示出)连接，根据电导率计(14)的测定值，能够控制柱塞泵(4)。只要是这种稀药液制造装置，能够以简单的结构稳定地制造极低酸、碱等浓度的稀药液。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 制造 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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