[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202080017949.6 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113454344A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 江野泽秀树;野中学;前岛靖;高阿田勉 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;张一舟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种适于确保包含多个旋转叶片以及粒子输送部的旋转体整体的平衡并且防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的回流的真空泵。真空泵（P1）在从吸气口到排气口之间具备将气体分子进行排气的多个排气段（PT）、将粒子向气体分子的排气方向输送的粒子输送部（PN），粒子输送部为，通过在构成最上段的排气段的多个旋转叶片（7）中将至少一部分的上游端的高度增高或降低而作为最上段的排气段整体成为上游端的高度不同的阶差结构，从而作为将粒子向气体分子的排气方向输送的机构而起作用，由多个旋转叶片以及粒子输送部、支承该多个旋转叶片的圆筒部（6）构成的旋转体（R）为，针对该旋转体整体，修正由于前述阶差结构而上游端的高度变得比其他的旋转叶片高的旋转叶片的存在而产生的不平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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