[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202080017948.1 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113454343A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 江野泽秀树;野中学;桦泽刚志 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;张一舟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检测真空泵的运行障碍的原因产生的流路位置处的、该原因产生稍微之前的堆积物的厚度。在从气体的进气口到排气口的流路中，堆积物传感器（21‑i）被配置于比该真空泵的运行障碍的原因产生的既定的流路位置靠上游侧或者下游侧。并且，堆积物传感器（21‑i）检测该堆积物传感器的配置位置处的堆积物的有无，堆积物传感器（21‑i）的配置位置为下述位置：在堆积物传感器（21‑i）的检测状态从没有堆积物变为有堆积物时，上述的既定的流路位置处的堆积物的厚度变为与抑制该原因的维护的维护时间相对应的既定厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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