[发明专利]通过近红外高光谱成像进行测量的薄膜厚度测量仪在审
| 申请号： | 202080013905.6 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN113424017A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | X·陈;J·王;M·M·毕晓普;C·M·瑟伯;M·本尼迪克特;H·金;E·L·马驰班克斯;K·W·奥尔森 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;B29C48/10;B29C48/92 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 徐舒 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明教导包含测量整个薄膜厚度的方法。所述方法可以包含形成聚合物薄膜(10)以及用同时采集多个点的空间图像和光谱图像的相机(20)来测量所述薄膜(10)的厚度。所述相机可以从所述薄膜的某条线采集线图像。所述相机可以是高光谱近红外相机。在分析在所述测量步骤期间采集的原始数据时，可以使用经典最小二乘分析来校正所述原始数据的条纹。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 红外 光谱 成像 进行 测量 薄膜 厚度 测量仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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