[实用新型]一种石英石拉管炉的清洗辅助治具有效
| 申请号： | 202023292214.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214289793U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 平铁卫;张程 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/023 | 分类号： | B08B9/023 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种石英石拉管炉的清洗辅助治具，所属拉管炉清洗装置技术领域，包括清洗池体，所述的清洗池体内设有清洗腔，所述的清洗腔两侧均设有溢水腔，所述的溢水腔上端均设有边搁板，所述的清洗腔内设有辅助载盘，所述的辅助载盘上端设有倒置石英石拉管炉，所述的边搁板上端设有与倒置石英石拉管炉相压接的盖板。具有结构简单和操作方便的特点。解决了石英石拉管炉清洗麻烦的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 拉管 清洗 辅助 | ||
【主权项】：
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