[实用新型]一种扩散源瓶及扩散源供应系统有效
| 申请号： | 202023287735.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214400802U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 钱洪强;张树德;赵保星;倪志春;魏青竹;连维飞 | 申请（专利权）人： | 苏州腾晖光伏技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/08 | 分类号： | C30B31/08;C30B31/18;C30B31/16;C30B29/06;H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 杨敏 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种扩散源瓶及扩散源供应系统，包括：源瓶和连通管，所述源瓶与所述连通管连通，所述连通管上设置有感应器，所述连通管内的液位与所述源瓶内的液位一致，用于通过感应所述连通管内的液位以监控所述源瓶内的液位；所述感应器包括：低液位感应器，高液位感应器和超高液位感应器，所述低液位感应器、所述高液位感应器和所述超高液位感应器从下到上依次排列设置于所述连通管上，用于监控所述源瓶内的液位；能够实时监测源瓶内源液的液位，使得每台机的使用的源瓶里的源液能够保持安全液位，不需要频繁更换源瓶，有利于批量生产中保持工艺制程的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 供应 系统 | ||
【主权项】：
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