[实用新型]一种单晶硅片的高效清洗装置有效
| 申请号： | 202023285840.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN215089372U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 蔡建名 | 申请（专利权）人： | 扬州方通电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/04;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶硅片的高效清洗装置，包括箱体、可拆卸安装在箱体顶端的箱盖和设置在箱体底部的电机座，箱体内两侧壁上安装有超声波发生器，且两侧分别竖直设有螺纹杆，螺纹杆上通过轴承套安装有硅片放置架，且下端穿过箱体底部，且下端套装有从动齿轮，两个从动齿轮之间啮合有主动齿轮，主动齿轮套装在驱动电机的输出轴上，且驱动电机安装在电机座内，箱体一侧下端连接循环水管的一端，循环水管上安装有循环泵，且另一端连接有软水管，软水管上间隔设有若干喷管，喷管穿过箱盖向下伸入。本实用新型设计新颖，清洗的效率高，清洗的效果高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 高效 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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