[实用新型]一种单晶炉清洁装置有效
申请号: | 202023275095.8 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN215103678U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 段刚甲;张大强;余斌;苏体仙;杨凤娇;代以艳;姚茂斌 | 申请(专利权)人: | 保山隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;F27D25/00 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 678000 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本实用新型实施例提供了一种单晶炉清洁装置。该单晶炉清洁装置包括清洁组件,清洁组件包括定位部件、驱动部件和清洁部件;驱动部件设置在定位部件上,定位部件用于为驱动部件提供支撑点;清洁部件套设于定位部件的外侧,驱动部件驱动清洁部件运动,以清洁单晶炉。这样,可以通过驱动组件带动清洁部件进行清洁,无需人力进行清洁,在节省人力的同时可以保证单晶炉的炉壁的清洁程度,降低单晶硅拉制生产时的断线风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 清洁 装置 | ||
【主权项】:
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