[实用新型]一种单晶炉清洁装置有效

专利信息
申请号: 202023275095.8 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN215103678U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 段刚甲;张大强;余斌;苏体仙;杨凤娇;代以艳;姚茂斌 申请(专利权)人: 保山隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06;F27D25/00
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 赵娟
地址: 678000 云南*** 国省代码: 云南;53
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型实施例提供了一种单晶炉清洁装置。该单晶炉清洁装置包括清洁组件,清洁组件包括定位部件、驱动部件和清洁部件;驱动部件设置在定位部件上,定位部件用于为驱动部件提供支撑点;清洁部件套设于定位部件的外侧,驱动部件驱动清洁部件运动,以清洁单晶炉。这样,可以通过驱动组件带动清洁部件进行清洁,无需人力进行清洁,在节省人力的同时可以保证单晶炉的炉壁的清洁程度,降低单晶硅拉制生产时的断线风险。
搜索关键词: 一种 单晶炉 清洁 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于保山隆基硅材料有限公司,未经保山隆基硅材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202023275095.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top