[实用新型]一种单晶炉配套设备撬装装置有效
| 申请号： | 202023234404.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN213951416U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杨刚;杨佩均;马自成;张军 | 申请（专利权）人： | 四川永祥硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都欣圣知识产权代理有限公司 51292 | 代理人： | 王海文 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种单晶炉配套设备撬装装置，包括：底座，可移动，起承载作用；真空泵，安装于底座前部，设有吸气管路和排气管路；振动过滤器，安装于底座中部，包括进气口和排气口，进气口经管路与单晶炉连接，排气口与真空泵的吸气管路连接；液压系统柜，安装于底座的后部，用于驱动单晶炉上的提升机构；控制箱，安装于底座的后部，与真空泵、振动过滤器和液压系统柜电性连接；其中，真空泵、振动过滤器、液压系统柜和控制箱均定位固定安装于底座上。该撬装装置实现单晶炉各配套设备的标准化模块化布局，管道线路分布合理，方便安装、拆换，便于后期维护，整体布局统一，增加车间布局美观性和空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 配套 设备 装置 | ||
【主权项】：
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