[实用新型]一种新型24路-3位面-柱面激光PDV探头有效

专利信息
申请号: 202023228370.0 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN214095941U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 刘钊;刘璐;张丹;冯丽丽;梁亮 申请(专利权)人: 西安飞秒光纤技术有限公司
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 戴媛
地址: 710000 陕西省西安市高新*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种新型24路‑3位面‑柱面激光PDV探头,包括24路光纤准直器,24路光纤准直器均分为3组光纤准直器组,任意两组光纤准直器组的出光面均错位排开,每路光纤准直器的出光处均通过支架连接45°棱镜,每路光纤准直器出射的光经45°棱镜反射后相互平行;采用24路,3位面探头设计,实现光纤探头的集成化、多点探测、以及小型化,能够全方位、快速的检测目标,并传输数据;采用45°棱镜实现光路折转,实现器件内部形貌的测量;避免了直接与被测器件表面接触,又可以得到表面轮廓。
搜索关键词: 一种 新型 24 柱面 激光 pdv 探头
【主权项】:
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