[实用新型]一种基于微带结构的等离子源有效
| 申请号： | 202023197911.8 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN214413110U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张文聪;吴丽 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | H05H1/52 | 分类号： | H05H1/52 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李顺德 |
| 地址： | 610021 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及等离子源。本实用新型公开了一种基于微带结构的等离子源，包括放电板和接地板，所述放电板和接地板分别与激励源正极和负极连接；所述放电板和接地板平行配置，放电板和接地板之间有间隙；所述放电板由微带电路板构成，所述放电板与接地板相邻侧设置有放电耦合微带线，所述放电耦合微带线与放电板正面的微带电路相连，所述放电耦合微带线设置在放电板正面和/或侧面。本实用新型的等离子源具有结构简单，小巧轻便的特点，能够获得均匀的线性等离子体。本实用新型的等离子源，作为更大等离子源的一个单元，可以组合成更大尺寸和面积的等离子源，具有广泛的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微带 结构 离子源 | ||
【主权项】：
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