[实用新型]体声波谐振器有效
| 申请号： | 202023083463.9 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN213693649U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 黄韦胜 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/15;H03H9/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括衬底，以及依次层叠设于所述衬底上的反射结构、种子层、底电极、压电层和顶电极；所述体声波谐振器包括谐振区，以及位于所述谐振区两侧的第一非谐振区和第二非谐振区，所述底电极位于所述第一非谐振区和所述谐振区，所述顶电极位于所述谐振区和所述第二非谐振区，所述种子层在所述第一非谐振区和所述谐振区的厚度大于在所述第二非谐振区的厚度。本实用新型能够提升谐振器的品质因子和机电耦合系数，提升谐振器的整体良率。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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