[实用新型]一种晶圆加工效率高的显影装置有效
| 申请号： | 202023057290.3 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN214042009U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 钟兴进 | 申请（专利权）人： | 广州市鸿浩光电半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B01F7/04;B01F15/00 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 511300 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种晶圆加工效率高的显影装置，包括底座，所述底座顶部中心焊接搅拌箱，所述搅拌箱顶部中心与固定块一端固定连接，所述固定块另一端固定连接十字固定架，所述十字固定架一侧固定连接第一原料罐，所述搅拌箱顶部一侧设有第一进料口，所述第一进料口另一端与所述第一原料罐一端相通，所述第一进料口上设有第一阀门，所述十字固定架另一侧固定连接第二原料罐，所述搅拌箱顶部另一侧设有第二进料口，所述第二进料口另一端与所述第二原料罐一端相通，所述第二进料口上设有第二阀门，本实用新型一种晶圆加工效率高的显影装置，解决了目前装置支撑效果差，无法清洗，显影液融合不充分，操作复杂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 效率 显影 装置 | ||
【主权项】：
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