[实用新型]体声波谐振结构有效
| 申请号： | 202022975846.0 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN214851160U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张大鹏;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/13;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种体声波谐振结构，包括：衬底；位于衬底上的第一电极层；其中，所述衬底和所述第一电极层之间形成有反射结构；位于所述第一电极层上的压电层；位于所述压电层上的第二电极层；位于所述第二电极层上的边框；所述边框具有环状立体结构；所述边框处于第一区域的边缘；所述第一区域包括所述第一电极层、反射结构、压电层以及第二电极层分别在第一平面上的投影的重叠区域。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 结构 | ||
【主权项】：
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