[实用新型]一种磁吸探针结构有效

专利信息
申请号: 202022974758.9 申请日: 2020-12-12
公开(公告)号: CN214585615U 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 蔡颖锐 申请(专利权)人: 武汉重光科技有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067
代理公司: 北京百年育人知识产权代理有限公司 11968 代理人: 赫玲芳
地址: 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本实用新型涉及一种高低温变温台和内部的电学探针的结构设计技术领域,且公开了一种磁吸探针结构,包括电学安装板,所述电学安装板的右侧固定安装有真空密封外壳,所述真空密封外壳的内壁固定安装有变温样品台,所述真空密封外壳的内壁固定安装有磁吸底板,变温的光电试验要求变温台内部有电学探针,但之前的探针存在位置固定,体积大使用不方便等问题,本专利涉及的变温腔和内部的磁吸探针,可以对样品的电学信号方便灵活的测试,内部磁吸探针安装有磁性底座,可以在腔体内的磁性底板上灵活移动,同时磁吸探针可以通过弹簧和探针角度调试对样品的测试电极的压力,在灵活小巧的同时实现良好的测试效果。
搜索关键词: 一种 探针 结构
【主权项】:
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