[实用新型]一种热电偶安装机构有效
| 申请号： | 202022898896.3 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN213579828U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 万军;廖海涛;王斌;王辉 | 申请（专利权）人： | 无锡市邑晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/06 | 分类号： | G01K7/06;G01K1/14;G01K1/08;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种热电偶安装机构。该热电偶安装机构包括固定套筒、第一波纹管以及连接套筒，固定套管固定设置在真空腔室的顶面上，第一波纹管的上端固定连接在固定套筒的内壁的顶部上，第一波纹管的下端依次活动穿过固定套筒的下端以及真空腔室的顶部，第一波纹管的下端位于真空腔室内，连接套筒固定设置在真空腔室内，第一波纹管的下端连接在连接套筒的顶面上，设置在封盖的顶部的加热组件的加热丝和测量封盖顶部温度的热电偶均固定设置在连接套筒内。本实用新型可保证在ALD加工时真空腔室的密封性，又不妨碍封盖的顶部的加热组件和测量封盖顶部温度的热电偶工作，具有很好的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电偶 安装 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡市邑晶半导体科技有限公司，未经无锡市邑晶半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022898896.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于5G手机的网络拓展盒
- 下一篇：一种土地资源管理取样器
