[实用新型]一种基于石英管分层的热炉降温结构有效
| 申请号： | 202022888892.7 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN214250552U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘群;庞爱锁;郭永胜;林佳继;朱太荣;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于石英管分层的热炉降温结构，包括石英管，所述石英管包括石英管内腔以及石英管外管，石英管外管为分层结构，石英管外管为分层结构，冷却介质在石英管外管的层间流通降低硅片的温度，本实用新型将硅片热量辐射传导石英管夹层并通过压缩空气传到炉体，相比于自然冷却方式，冷却速度提升5‑10倍，提高冷却速度，本实用新型将石英管设计为分层结构，导入管、石英管夹层以及导出管形成冷却通道，避免压缩空气对炉膛和电炉丝直吹，提高了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石英管 分层 降温 结构 | ||
【主权项】：
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