[实用新型]一种端面装配微小间隙非接触测量装置有效
申请号: | 202022850901.3 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213455353U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 曹宇;孙鹏飞;胡秀琨;赵齐戬;张连新;李芳;付磊;于长志;肖虹 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | G01B11/14 | 分类号: | G01B11/14 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 张超 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种端面装配微小间隙非接触测量装置,包括控制主机和检测主体;控制主机包括光谱控制器和位移控制器,检测主体包括升降平台、位移台和光谱传感器;光谱控制器和光谱传感器连接,光谱传感器设于位移台上,位移台设于升降平台上,光谱传感器用于测量间隙宽度,所述位移台用于控制光谱传感器在位移台上移动,升降平台用于控制位移台的升降;所述位移控制器和位移台连接,所述位移控制器用于控制光谱传感器的移动和升降。采用本方案,利用光谱共焦传感器进行测量,光谱共焦位移传感器是基于波长位移调制的非接触式位移传感器,工作频率达上千赫兹,对于被测件表面纹理、倾斜和颜色不敏感,适用范围广,测量精度高,分辨率可达纳米级。 | ||
搜索关键词: | 一种 端面 装配 微小 间隙 接触 测量 装置 | ||
【主权项】:
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