[实用新型]LPCVD-TEOS工艺用尾气过滤器有效
| 申请号： | 202022788468.5 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN214158869U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李建新 | 申请（专利权）人： | 吉林瑞能半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00 |
| 代理公司： | 吉林新发惠利知识产权代理事务所(普通合伙) 22216 | 代理人： | 高佳佳 |
| 地址： | 132013 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属于过滤器技术领域，具体为LPCVD‑TEOS工艺用尾气过滤器，包括有上壳体和下壳体，所述上壳体的内部装配有安装板，所述安装板上开设有圆孔，所述安装板的下方连接有外网筒，所述外网筒的外侧设有第一滤布，所述第一滤布上绑接有紧固条，所述外网筒的内侧连接有导流板，所述导流板的内侧端连接有内网筒，所述内网筒的内侧设有第二滤布，所述上壳体的侧面连接有尾气入口。该改造充分利用了设备原有结构形式，在未改变现有过滤器外部尺寸的条件下，通过合理布置内部导流板的方法，将各层滤布巧妙地并联起来，有效地增加了单次过滤面积，成功预防了滤布堵塞现象，很小投入便达到了预期效果。对设备、工艺的稳定运行及检修周期的延长都起很大作用。 | ||
| 搜索关键词： | lpcvd teos 工艺 尾气 过滤器 | ||
【主权项】：
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