[实用新型]用以减少微尘的薄膜沉积设备及其遮挡构件

摘要

本实用新型提供一种用以减少微尘的薄膜沉积设备及其遮挡构件，薄膜沉积设备主要包括一腔体、一载台、一环状构件、一挡件及一盖环。载台及挡件位于腔体的容置空间内，其中环状构件设置在载台上，并位于载台承载的基板周围，而盖环则设置在挡件的一环形凸缘。环状构件包括至少一凹槽，而盖环则包括至少一遮挡部，其中遮挡部朝盖环的一开口的径向内及轴向之间的方向延伸。当一升降装置带动载台靠近挡件时，盖环的遮挡部会进入环状构件的凹槽内，并遮挡凹槽靠近环状构件外侧的侧表面，以避免在环状构件及盖环之间接触的表面沉积薄膜。