[实用新型]一种涂胶机台连接处防落尘装置

摘要

本实用新型公开了半导体制造领域内的一种涂胶机台连接处防落尘装置，包括设置在两个机台模组之间的挡尘组件，所述挡尘组件包括固定边框一和固定边框二分别与两个机台模组相连接，固定边框一上固定连接有挡尘罩，挡尘罩包括上挡部，上挡部的左右两侧边缘均一体设置有竖直向下延伸的侧挡部，固定边框二包括水平段二，水平段二的左右两端均一体设置有向下延伸的竖直段二，所述挡尘罩与固定边框二相对应设置，挡尘罩的上挡部前端与固定边框二水平段二下侧相贴合设置，挡尘罩的两个侧挡部前端分别与固定边框二的两个竖直段二内侧相贴合设置。本实用新型能够防止空间落尘掉落在产品上，减少颗粒落尘，提升产品良率。