[实用新型]一种光学镀层阴极体

摘要

本实用新型属于镀膜设备部件技术领域，尤其是一种光学镀层阴极体，包括阴极体座和靶材，所述阴极体座的一侧开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有绝缘接头，所述绝缘接头的表面安装有连接装置，通过所述连接装置连接靶材和阴极体座，所述连接装置包括螺纹套管，所述螺纹套管的截面呈空心圆环状。该光学镀层阴极体，通过设置利用将靶材与阴极体座通过连接装置进行连接，通过连接装置内的弹簧片在螺纹套管的带动下，通过卡块和卡轴带动弹簧片进行折叠，由于固定轴插入插孔内，将弹簧片的另一端相对固定，使得弹簧片螺旋折叠，随着螺纹套管的转动，使得弹簧片中心的靶材被夹紧固定，从而使得具有便于对靶材进行拆卸安装的特点。