[实用新型]一种晶体生长坩埚托有效
申请号: | 202022597711.5 | 申请日: | 2020-11-11 |
公开(公告)号: | CN214193528U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 罗福敏;胡昌勇;李勇 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 404040 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体生长装备技术领域,公开了一种晶体生长坩埚托,包括石英管,所述石英管一侧的内部设置有石英棉,所述石英管另一侧的内部设置有保温棉,所述石英棉内设置有敞口的倒锥形槽,所述保温棉内设置有通槽,所述通槽与倒锥形槽连通,所述通槽内设置有石英棒,所述石英棒的一端伸出保温棉,所述石英棒另一端的端部至锥形槽之间的通槽形成籽晶腔。本实用新型能够提高晶体轴心位置的热传导效率,改善生长界面凹向熔体的程度或变成微凸向熔体的生长界面。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 坩埚 | ||
【主权项】:
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