[实用新型]一种半封闭式氮气吹扫装置有效
| 申请号： | 202022254140.5 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN213316591U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 薛弘宇;陈开清;刘兴明;程阳;周建国 | 申请（专利权）人： | 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吴忠义 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造领域，提供了一种半封闭式氮气吹扫装置，包括可拆卸连接的上盖和下盖，上盖和下盖的内部结合面设置有工件放置腔，上盖内部在工件放置腔的上方设置有氮气注入腔，下盖内部在工件放置腔的下方设置有排气孔；上盖在氮气注入腔的顶部设置有若干进气孔，各进气孔贯穿上盖，上盖的上端面设置有多通路进气装置，多通路进气装置的顶部设置有进气管，侧面设置有若干输气管，每个输气管对应连接一个进气孔，输气管与进气管在多通路进气装置内部连通；进气管通过液氮管道连接有液氮贮槽。本实用新型提供的半封闭式氮气吹扫装置，将零部件置于半封闭的腔体内，再用氮气进行注入式吹扫，吹扫充分，提高了氮气的利用率，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 封闭式 氮气 装置 | ||
【主权项】：
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