[实用新型]一种大口径平面离子束抛光机的离子源三维运动执行机构有效
| 申请号： | 202022237039.9 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213225374U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 吴建东 | 申请（专利权）人： | 常州卓研精机科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 厉丹彤 |
| 地址： | 213164 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及及离子源运动技术领域，公开了一种大口径平面离子束抛光机的离子源三维运动执行机构，包括三维运动机构主体，三维运动机构主体的下端设有支撑座，支撑座通过支撑机构与三维运动机构主体的下端相连接；支撑机构包括支撑槽，支撑槽开设在支撑座的上端，支撑槽靠近槽底一端位置的两端槽壁上对称镶嵌有轴承，两个轴承的内圈壁上共同固定连接有双向螺纹杆，双向螺纹杆的中心处通过驱动组件与支撑槽的槽底相连接，位于两个轴承之间的双向螺纹杆杆壁上对称螺纹连接有螺母，螺母的下端环形侧壁上连接有限位组件。本实用新型可以根据使用者的使用需求，调整三维运动机构主体的高度位置，提高了实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 平面 离子束 抛光机 离子源 三维 运动 执行机构 | ||
【主权项】：
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