[实用新型]一种真空测试模具有效
| 申请号： | 202022184076.8 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN212844138U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 杨苏圣 | 申请（专利权）人： | 湖州科秉电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 周孝林 |
| 地址： | 313000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空测试模具，该模具由模块A以及模块B共同组成，两组所述模块A对应密封设置于原料混合器的两侧部，所述模块B密封设置于所述原料混合器的下端部，所述模具对所述原料混合器进行密封，以控制其内部的真空度；通过设置由模块A和模块B共同组成的模具，对应与原料混合器本体的侧部和端部进行密封连接，并与真空泵以及氦气测漏机相串联，从而可有效控制原料混合器内部的真空度，真空压力可达到集成电路制造需求，且具备大范围检漏能力，解决了现有技术中存在的真空度难以控制和测量的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 测试 模具 | ||
【主权项】：
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